ドライラミネーター(弾性体ヘッドプレス)

ドライ雰囲気かつ真空下にて凹凸のあるワークでも均等な圧力で加圧することが可能です。
マルチチップのボンダーとしてもご活用いただけます。

アプリケーション

  • フリップチップなどのIC多数個同時圧着
  • 封止樹脂シートのボイドレスラミネーション
  • キャビティ付セラミック基板の圧着成形

特長

  • 均等圧力の発生(加圧ヘッド部に特殊弾性体を採用することで、従来の機械プレスでは実現できない均等圧力の発生が可能)

参考仕様

最高面圧 10MPa
最高温度 300℃
製品サイズ □400mm
装置サイズ 1,590(W)×1,990(H)×2,035(D)mm

性能比較

既存プレスへの弾性体ヘッドの取付例

動作と原理