ハイスタッカー

グリーンシートなどの各種基板を高精度かつ高速に自動積層する装置です。
また、シート特性に応じたフィルム剥離機能に加え、機能性フィルムのボイドレス貼付にも対応します。

アプリケーション

  • 積層セラミック電子部品の枚葉式(sheet to sheet)プロセスの積層工程
  • 低温同時焼成セラミックス基板の積層工程
  • 機能性フィルムのボイドレス貼付工程
  • 特殊電池材料シートの積層工程

特長

  • ±10μmを確保する高精度積層
  • 20sec(プレス時間は別途)サイクルタイムとなる高速積層
  • 積層間のエアを排除する真空積層
  • 柔軟なカスタマイズ対応

シート積層例

標準動作フロー

標準仕様

処理シート仕様

シート仕様 セラミックグリーンシート(裏面PETフィルム付)
シートサイズ 寸法 □150~200mm × t 10~300μm
PETフィルム厚 30~100μm