弾性体ヘッドプレス

アイソボンダー & ドライラミネーター

ドライ雰囲気かつ真空下にて凹凸のあるワークでも均等な圧力で加圧することが可能です。

アプリケーション

  • フリップチップなどのIC多数個同時圧着
  • 封止樹脂シートのボイドレスラミネーション
  • キャビティ付セラミック基板の圧着成形

特徴

  • 均等圧力の発生(加圧ヘッド部に270℃耐熱特殊弾性体を採用することで、従来の機械プレスでは実現できない均等圧力の発生が可能)

参考仕様

装置推力 100kN
最高面圧 10MPa
最高温度 200℃
製品サイズ □400mm
装置サイズ 1,400(W)×1,850(H)×1,600(D)mm

既存プレスへの弾性体ヘッドの取付例

弾性体ヘッド取付例

性能比較

動作と原理

お問い合わせ

精密機器事業本部 ファインセラミック機器部

Tel: 042-392-3372 / Fax: 042-392-3362

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