ドライラミネーター

アイソボンダーとも呼ばれています。
独自の特殊弾性体ヘッドにより、ドライ雰囲気かつ真空下にて凹凸のあるワークでも均等な圧力で加圧することが可能です。300℃の超高温域での均等圧圧着を可能とする圧着成形機です。さらにマルチチップのボンダーとしてもご活用いただけます。

アプリケーション

  • 金属ペーストなどによる接合
  • 放熱基板の圧着
  • 接着層の流出抑止
  • 熱硬化樹脂フィルムの熱圧着
  • キャビティ付セラミック基板の圧着成形

特長

  • 真空下での均等圧力の発生（凹凸追従）
  • 超高温域での加圧（MAX300℃）
  • 急加熱、急冷却の実現

構造と動作フロー

装置構造

動作フロー

性能比較

標準仕様

最高面圧 20MPa
最高温度 300℃
製品サイズ □320mm

デモンストレーションのご案内

当社東村山製作所にデモンストレーション装置を設置し、お客様のサンプル試験加工を実施しております。お気軽にお申し付けください。